modell c20s – die kompakte maschine für die parylenbeschichtung

modèle c20s construction

Sehr einfache Bedienung und Wartung

Ideal für Labortests,
Prototypen und Kleinserien

Reduzierter Dimer- bzw. Parylenverbrauch dank den kleinen Abmessungen der Beschichtungskammer

Eignet sich perfekt für die Beschichtung von Wafern bis zu einem Durchmesser von 150mm

Schutz der Pumpe durch eine Kriogen-Kältefalle mit flüssigem Stickstoff
Abmessungen:
L x T x H 1180 x 500 x 750 mm
Kammer: ∅ 200 x L 210 mm Werkstücke: ∅ 170 x L 188 mm Spannung: 400 VAC 3 ph + N + PE Frequenz / Leistung: 50 Hz / 3,5 kW Spannungskontrolle: 24 VDC Dimer-Beschickungskapazität: 30 g Pumpenvolumen: 12–25 m3/h Gewicht: 90 kg Abmessungen Werktisch gemäß Abb, (Option): L x T x H 1300 x 600 x 800 mm
CE comelecZertifikat
C20S comelec

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