modell c25s

Sehr einfache Bedienung und Wartung

Ideal für Labortests, Prototypen und Kleinserien

Eignet sich perfekt für die Beschichtung von Wafern bis zu einem Durchmesser von 150 mm

Optimierte automatische Verarbeitung der Parylene Typen C, N, D, AF4, VT4

Möglichkeit zur Einrichtung im Reinraum

Verfügbare Ausstattungen: Klimatisierung der Vakuumkammer mit Temperaturkontrolle, Plasmaaktivierung, Vorbehandlung mit Silane, usw.

Abmessungen:
L x T x H 1600 x 1100 x 1750
Kammer: ∅ 250 x H 270 mm Werkstücke: ∅ 220 x H 235 mm Spannung: 400 VAC 3 ph + N + PE 50Hz Frequenz / Leistung: 50 Hz / 3,5 kW Dimer-Beschickungskapazität: 30 g Pumpenvolumen: 25 m3/h Gewicht: 200 kg
CE comelecZertifikat
C25S comelec

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