beschichtungsverfahren

Das feste Dimer in Pulverform wird im Primärvakuum erhitzt, bis es sich verflüchtigt bzw. sublimiert. Dieses Dimergas durchläuft anschließend eine Pyrolysezone, wo es sich in drei reaktive Monomere aufspaltet. Gelangen diese Monomere bei Raumtemperatur in die Beschichtungskammer, schlagen sie sich auf freien Oberflächen nieder und polymerisieren spontan zum Parylenfilm. Die Stärke der Beschichtung wird gemäß der gewünschten Funktion eingestellt.

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