modèle c20s - la machine compacte de traitement parylène

modèle c20s construction

Utilisation et maintenance très simples

Idéale pour les tests de laboratoires,
les prototypes ou les petites séries

Consommation économique de parylène grâce aux dimensions réduites de la chambre
de déposition

Convient parfaitement au traitement de wafers jusqu’à un diamètre de 150 mm

Protection de la pompe par piège cryogénique à l’azote liquide
Encombrement:
L x P x H 1180 x 500 x 750 mm
Chambre: ∅ 200 x L 210 mm Outillage: ∅ 170 x L 188 mm Tension d'alimentation:
400 VAC 3 ph + N + PE
Fréquence / puissance: 50 Hz / 3,5 kW Tension commande: 24 VDC Capacité charge dimère: 30 g Volume pompage: 12 - 25 m3/h Poids: 90 kg Dimension table ( en option ):
L x P x H 1300 x 600 x 800 mm
Certifica CE comelec
C20S comelec

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