procédés de traitement

Le dimère solide, sous forme de poudre, est chauffé sous vide primaire jusqu'à se sublimer. Ce dimère gazeux transite par une zone de pyrolyse pour y être "craqué" en 3 monomères réactifs. Pénétrant dans la chambre de déposition à température ambiante, les monomères s’adsorbent sur toutes les surfaces exposées et polymérisent spontanément formant le film de parylène. L’épaisseur déposée est ajustée selon la fonctionnalité désirée.

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